タイトル

ナンバリングコード M3MCH-ABXT-2O-Pg2   科目ナンバリングについて
授業科目名 科目区分 時間割 対象年次及び学科
マイクロシステム設計実務    
Practical Design of Micro Structure and System
  前期 火4 1~2 工学研究科博士前期課程知能機械システム工学専攻
講義題目 水準・分野 DP・提供部局
対象学生・
特定プログラムとの対応
 
 
M3MCH ABXT 2O
担当教員 授業形態 単位数 時間割コード
寺尾 京平 Pg 2 943170
DP・提供部局  
ABXT
 
授業形態  
Pg
 
関連授業科目  
マイクロテクノロジ-,マイクロプロセス
 
履修推奨科目  
マイクロテクノロジ-,マイクロプロセス
 
学習時間  
講義・実験実習90分 × 15回 + 自学自習
 
授業の概要  
 マイクロデバイスの具体例としてマイクロ流体デバイスを取り上げ,自らのアイディアを盛り込んだデバイスの構造設計を行なうと共に,薄膜形成法やエッチング等のマイクロファブリケ-ション技術を用いてデバイス試作を実施する.更に,試作したマイクロデバイスの特性評価(形状・構造評価~流体特性評価)までを行ない,マイクロデバイス製作の基本的な流れを体系的に学ぶ.また,マイクロ流体デバイスの重要な応用先であるバイオ分野について専門の講師から最先端の研究動向を学ぶことで,ニーズ側の視点を身につける.
 
授業の目的  
 本授業では,バイオ、IT分野等に適用可能なマイクロデバイスに関する設計手法の習得(DPの「専門知識・理解」)とデバイスの実現に必須な基本技術(設計,製作,特性評価)について,体系的・総合的に学ぶこと(DPの「研究能力・応用力」)を目標としている.
 
到達目標  
(1)マイクロシステムについて,その概要を理解するとともに,最近の研究開発および応用分野の動向を知る.
(2)マイクロシステムを構成するマイクロデバイスの設計・製作・実装に関する基本技術について,理解する.
(3)(1),(2)を基に,自らマイクロデバイス(流体デバイス)に構造設計,製作・実装,特性評価に至る一連の流れを習得する.
 
学習・教育到達目標(工学部JABEE基準)  
 
成績評価の方法と基準  
 設計実務に関する以下のレポ-トに基づき,総合的に評価する.
レポ-ト①:論文調査結果等を基に,自らが提案するマイクロ流体デバイスの設計案を記したレポ-トにより評価する (50点)
レポ-ト②:提案したマイクロ流体デバイスに関して,設計・製作・特性評価結果をまとめた最終報告書により評価する (50点)
 
授業計画並びに授業及び学習の方法  
【授業計画】
第1回:マイクロシステムの概論
   -マイクロデバイスの特徴,マイクロファブリケ-ション技術とその応用例-
第2回:マイクロ流体力学の基礎
   -流体デバイスに関する基本技術,並びにマイクロ流路内での混合現象の理解-
第3回:医学・生物学分野への応用に向けた概論(医学部教員による講義予定)
   -細胞生物学の基礎と最先端研究動向-
第4回:農学分野への応用に向けた概論(農学部教員による講義予定)
   -植物生理学の基礎と最先端研究動向-
第5回:マイクロ流体デバイスに関する調査(1)
   -Review paperを基に流体デバイスの最近の動向を理解-
第6回:報告会 -最新の文献紹介とマイクロ流体デバイスの提案- <レポ-ト①>
第7回:デバイス設計(1) -レイアウト設計とマスク描画設計-
第8回:デバイス設計(2) -ガラスマスクの製作-
第9回:デバイス製作(1) -Alの薄膜形成- 
第10回:デバイス製作(2) -フォトリソグラフィとAlのウエットエッチング-
第11回:デバイス製作(3) -フォトリソグフィ(厚膜レジスト)-
第12回:デバイス製作(4) -ドライエッチング(ICPによるSi深堀エッチング)-
第13回:デバイス製作(5) -PDMS moldingとO 2 plasma bonding-
第14回:デバイス特性評価(1) -デバイスの形状,流体特性評価-
第15回:最終報告会・総括 <最終報告書(レポ-ト②)>
 
教科書・参考書等  
必要に応じて,プリントを配布.
 
オフィスアワー  
水曜・3限目
 
履修上の注意・担当教員からのメッセージ  
設計実務(設計・製作・特性評価)への参加とレポートの提出(レポ-ト①~③)が必須である.
 
参照ホームページ  
 
メールアドレス  
terao@eng.kagawa-u.ac.jp
 
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