タイトル

ナンバリングコード M3MCH-ABXT-2O-Lp2   科目ナンバリングについて
授業科目名 科目区分 時間割 対象年次及び学科
マイクロプロセス工学    
Microfabrication Technology
  前期 木3 1~ 工学研究科博士前期課程知能機械システム工学専攻
講義題目 水準・分野 DP・提供部局
対象学生・
特定プログラムとの対応
 
 
M3MCH ABXT 2O
担当教員 授業形態 単位数 時間割コード
下川 房男, 石塚 裕己[Shimokawa Fusao, Hiroki ISHIZUKA] Lp 2 943150
DP・提供部局  
ABxT
 
授業形態  
Lp
 
関連授業科目  
マイクロテクノロジー
 
履修推奨科目  
マイクロシステム設計実務
 
学習時間  
講義90分×15回+自学自習(レポート作成、口頭発表)
 
授業の概要  
ものづくりでは、一般的に課題抽出~課題の解決、更には新規なテ-マ等の提案が求められる。本授業の中では、マイクロプロセス技術に関して、単に高度な知識の理解に留まらず、リバースエンジニアリングを用いて、課題解決~新規提案に関わるPBL学習を実施する。具体的には、過去の技術調査を行った上でマイクロシステムを分解し、システムを構成する各種デバイス構成の観察や各種デバイス機能を観察することで過去の技術と現在の技術との関連性を考察する。その上で現在使われている技術を元に、将来求められるより高性能・高機能な新規デバイスの提案、更にはそのデバイスの実現に必要なマイクロプロセス技術について提示できることを目指す。
 
授業の目的  
本授業では、センサやアクチュエ-タ、C-MOS IC等のデバイスを組み合わせたマイクロシステムを対象とし、それらの実現に必要なマイクロプロセス技術を理解するとともに(DPの「専門知識・理解」)、そのマイクロプロセスにより実現される各種デバイスの高性能化、高機能化、小型・低消費電力化等の課題探求・問題解決等ができる能力(DPの「研究開発能力・応用力」)を身につけることを目的とする。
 
到達目標  
1.マイクロデバイスの製造に関わるプロセスフロー(製造工程)図の概要を理解し、説明することができる。
2.一般社会で広く利用されるようになってきたマイクロデバイスがどのように利用されているかを理解し、また、今後どのような技術開発により、マイクロシステム化が一層図られるかを推論することができる。
3.過去の技術と現在使われている技術から、将来使われるようになる技術を考えることができる。
4.PBL学習を通して、マイクロプロセス技術の応用展開であるマイクロシステムの高度化(例えば、高性能化・高機能化等)に関して、課題の解決や提案ができる。
 
学習・教育到達目標(工学部JABEE基準)  
 
成績評価の方法と基準  
グループによる調査研究や技術討論を纏め、グループ単位で口頭発表と課題解決/新規提案書等の作成を行う。これらと報告会での技術討論等への参加状況により総合的に評価する。
 
授業計画並びに授業及び学習の方法  
講義の前半は、マイクロプロセス技術の概要とその最前線について、ppt等を用いて講義する。講義後半は、その知識等を活かし、身近にある携帯やスマ-トフォン等のマイクロシステムをリバースエンジニアリングの観点から、実際に分解・調査し、システムを構成するデバイスの課題の抽出から新規デバイス等の提案を試みる。


【授業計画】
第1回:ガイダンス(授業の内容、進め方、評価方法等の説明)
第2回:マイクロシステムの概要
第3回:マイクロプロセス技術の概要(1)-フォトォトリソグラフィ-技術の最前線-
第4回:マイクロプロセス技術の概要(2)-エッチング技術の最前線-
第5回:マイクロプロセス技術の概要(3)-薄膜形成技術の最前線-
第6回:マイクロプロセス技術の概要(4)-特殊加工技術の最前線-
第7回:課題解決・新規提案演習(1)-マイクロシステムの分解等による構成理解-
第8回:課題解決・新規提案演習(2)-マイクロシステムの分解等による構成理解-
第9回:課題解決・新規提案演習(3)-マイクロシステムの課題等の調査-
第10回:課題解決・新規提案演習(4)-マイクロシステムの課題等の調査-
第11回:課題解決・新規提案演習(5)-マイクロシステムの課題等の調査-
第12回:課題解決・新規提案演習(6)-課題解決策や新規提案等の推進-
第13回:課題解決・新規提案演習(7)-課題解決策や新規提案等の推進-
第14回:課題解決・新規提案演習(8)-課題解決策や新規提案等の推進-
第15回:発表・纏め

※できるだけ研究分野が異なる複数名にグループを構成し、異分野融合領域のマイクロシステムの実現に向けて課題に取り組んで頂く。
 
教科書・参考書等  
適宜プリントを配布する。
 
オフィスアワー  
質問はe-mail(simokawa@eng.kagawa-u.ac.jp、hi1124@eng.kagawa-u.ac.jp)で受け付け、面談が必要な場合は、メールで時刻調整を行う。
 
履修上の注意・担当教員からのメッセージ  
マイクロシステム全般の技術動向等に関心を持つと共に、マイクロシステムが複合関連領域の産物であることから、マイクロデバイス設計・評価技術、デバイスプロセス技術に留まらず、電子回路技術等にも常に興味を持って接してほしい。また、産業界で広く使われる技術に興味関心を持つことで、エンジニアとしての素養を磨いてほしい。
 
参照ホームページ  
 
メールアドレス  
simokawa@eng.kagawa-u.ac.jp,hi1124@eng.kagawa-u.ac.jp
 
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